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大氣電漿產生器
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提供LCD製程中 對於表面改質及ACF貼附等改善
清潔作業
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一般大氣即可產生電漿 生產成本低廉 清潔效
果良好
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視客戶需求 也可使用 N2 , Ar 等氣體 並提供客戶
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電極壽命長 低溫電漿 不傷害基板
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